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什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

真空镀膜行业中，氩气的流量大小具体如何控制?

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：氩气如果只是调节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么氩气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。

任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例，除了在它表面吸附的气体之外，在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。

因此真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。

使用标准气体的安全知识

气瓶出口阀门要保持干净。有尘埃时决不允许用带有油污的抹布擦洗，要用干净的抹布擦洗阀门或气瓶出口，清除尘埃。

标准气体钢瓶应放置牢靠，直立放在专门的钢瓶座上，以防碰倒钢瓶引起事故。在打开气瓶阀门时应站在气瓶连接件的侧面。分析结束时，应立即关闭钢瓶阀门，将标准气体钢瓶放置原处。

安徽强源专业生产制造标准气体、高纯气体、高纯氦气、高纯氩气、高纯氮气等。

目前工业制氦气的方法一般有分馏法、吸附法、扩散法、铀矿石法等等。

1.分馏法：利用每种气体的沸点和凝点不同，通过反复蒸馏就可以剔除杂质获取粗氦混合气。

2.吸附法：使用不同的固定吸附剂，利用不同组分的气体吸附能力不同的原理将氦气分离出来。

3.铀矿石法：将含有氦气的铀矿石通过焙烧分离，再经过处理得到氦气，过程中会除去水分、氢气、二氧化碳等杂质。

4.空分法：利用空分原理，从氦氖混合气中提纯氦气。

5.吸收法：在一定条件下通过合适的吸收溶剂，将沸点比氦气高的然气中的其他气体吸收去除，从而获得氦气。

6.扩散法：氦气的高导热性大家都知道，利用极细的石英玻璃管扩散提取氦气也具有可行性。